光伏行业废气处理
光伏行业废气处理
废气特点：
含硅烷（SiH₄）、氨气（NH₃）等特气
氟化物（HF、SiF₄等蚀刻废气）
VOCS（清洗剂、溶剂挥发）
粉尘（裁切产生）
需满足《电子工业污染物排放标准》（GB39731）
核心工艺：
✔ 分类处理系统：
特气处理：
燃烧塔（SiH₄去除率＞99.9%）
湿式洗涤（HF浓度＜1mg/m³）
VOCs处理：
活性炭吸附+CO（非甲烷总烃＜50mg/m³）
粉尘处理：
布袋除尘
智能控制：
特气泄漏应急系统
数字孪生运行平台
技术优势：
✓ 针对性处理，稳定达标排放
✓ 防爆防腐设计
✓ 模块化快装结构
适用工序：
硅料提纯、电池片制绒、组件层压等产线
